CHARGED PARTICLE OPTICAL DEVICE

본 발명은 다수의 하전 입자 빔렛의 궤도를 조작하기 위한 하전 입자 광 디바이스에 관한 것이다. 상기 하전 입자 광 디바이스는 평면형 기판을 구비하는 전자기 디플렉터를 포함하고, 평면형 기판은 상부면 및 하부면과, 균등한 두께를 갖는다. 기판은 하나 이상의 빔렛이 통과되게 하는 관통 개구로서, 상기 기판의 상부면과 하부면에서 나오는 것인 관통 개구; 제1 코일 및 제2 코일을 포함하고, 상기 제1 코일 및 제2 코일 각각은 실질적으로 나선형 코일이고, 상부면 상에 배치되는 전도성 상부 리드, 하부면 상에 배치되는 전도성 하부 리드, 및 상기 기판을 통해 연장되는 비아를 포함하며, 비아는 상기 상부 리드 중 하나를 상기 하부 리드 중 하나와 전도성으로 연결시켜 상기 코일을 형성하고, 상기 제1 코일과 제2 코일은 관통 개구의 양쪽에 배치된다. The invention relates to a charged particle optical device for manipulating a trajectory of multiple beamlets of charged particles. Said charged particle optical device comprising an electromagnetic deflector comprising a planar substrate having an upper side and a lower side of said substrate, and an even thickness. The substrate comprises: a through opening for passing said beamlets there through, wherein said through opening debouches in the upper and lower side of said substrate; a first and a second coil, wherein each of said coils preferably is a substantially helical coil and comprises conducting upper leads arranged at the upper side, conducting lower leads arranged at the lower side, and vias extending through said substrate and which conductively connect one of said upper leads with one of said lower leads for forming said coil; wherein said first and second coils are arranged on either side of the through opening.