FLUID CONTROL DEVICE FLUID CONTROL METHOD AND FLUID CONTROL PROGRAM

The present invention improves flow rate measurement accuracy in a state in which a valve is fully closed. A fluid control device comprises: a fluid resistance element (33) provided on a flow path (2R); an upstream pressure sensor (31a) configured to detect an upstream pressure P1 of the fluid resistance element (33); a downstream pressure sensor (31b) configured to detect a downstream pressure P2 of the fluid resistance element (33); a flow rate calculation unit (4a) configured to calculate a flow rate Q flowing through the flow path (2R) based on the upstream pressure P1 and the downstream pressure P2; a valve (32) provided upstream of the upstream pressure sensor (31a) or downstream of the downstream pressure sensor (31b); and a valve control unit (4b) configured to control the valve (32) based on the flow rate Q calculated by the flow rate calculation unit (4a). When the valve (32) is fully closed, the flow rate calculation unit (4a) is configured to calculate the flow rate Q by switching a first flow rate calculation Formula Eq1 that is used when the valve (32) is open, to a second flow rate calculation formula Eq2 that is different from the first flow rate calculation Formula Eq1. 본 발명은 밸브가 전폐된 상태에 있어서 유량의 측정 정밀도를 향상시키는 것으로, 유로(2R)에 마련된 유체 저항 소자(33)와, 유체 저항 소자(33)의 상류측 압력 P1을 검출하는 상류측 압력 센서(31a)와, 유체 저항 소자(33)의 하류측 압력 P2를 검출하는 하류측 압력 센서(31b)와, 상류측 압력 P1 및 하류측 압력 P2에 기초하여 유로(2R)를 흐르는 유량 Q를 산출하는 유량 산출부(4a)와, 상류측 압력 센서(31a)의 상류측 또는 하류측 압력 센서(31b)의 하류측에 마련된 밸브(32)와, 유량 산출부(4a)에 의해 산출된 유량 Q에 기초하여 밸브(32)를 제어하는 밸브 제어부(4b)를 구비하고, 유량 산출부(4a)는 밸브(32)가 전폐 상태에 있는 경우에 있어서, 밸브(32)가 열림 상태에 있는 경우에 이용하는 제1 유량 산출식 Eq1로부터, 제1 유량 산출식 Eq1과는 상이한 제2 유량 산출식 Eq2로 전환하여 유량 Q를 산출한다.