SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY WITH DEPOSITED SURFACE FEATURES

정전 척을 제조하는 방법은, 연마된 표면을 생성하기 위해 정전 척의 세라믹 바디의 표면을 연마하는 단계, 및 코팅된 세라믹 바디를 생성하기 위해 세라믹 바디의 연마된 표면 상에 세라믹 코팅을 증착하는 단계를 포함한다. 방법은, 코팅된 세라믹 코팅 위에 마스크를 배치하는 단계 - 마스크는, 복수의 타원형 홀들을 포함함 -, 및 코팅된 세라믹 바디 상에 복수의 타원형 메사들을 형성하기 위해, 마스크의 복수의 타원형 홀들을 통해 세라믹 재료를 증착하는 단계를 더 포함하며, 여기서, 복수의 타원형 메사들은 라운드형 에지들을 갖는다. 그런...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DING ZHENWEN, BOYD WENDELL GLENN JR, PARKHE VIJAY D, KUO TENG FANG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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