SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY WITH DEPOSITED SURFACE FEATURES
정전 척을 제조하는 방법은, 연마된 표면을 생성하기 위해 정전 척의 세라믹 바디의 표면을 연마하는 단계, 및 코팅된 세라믹 바디를 생성하기 위해 세라믹 바디의 연마된 표면 상에 세라믹 코팅을 증착하는 단계를 포함한다. 방법은, 코팅된 세라믹 코팅 위에 마스크를 배치하는 단계 - 마스크는, 복수의 타원형 홀들을 포함함 -, 및 코팅된 세라믹 바디 상에 복수의 타원형 메사들을 형성하기 위해, 마스크의 복수의 타원형 홀들을 통해 세라믹 재료를 증착하는 단계를 더 포함하며, 여기서, 복수의 타원형 메사들은 라운드형 에지들을 갖는다. 그런...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 정전 척을 제조하는 방법은, 연마된 표면을 생성하기 위해 정전 척의 세라믹 바디의 표면을 연마하는 단계, 및 코팅된 세라믹 바디를 생성하기 위해 세라믹 바디의 연마된 표면 상에 세라믹 코팅을 증착하는 단계를 포함한다. 방법은, 코팅된 세라믹 코팅 위에 마스크를 배치하는 단계 - 마스크는, 복수의 타원형 홀들을 포함함 -, 및 코팅된 세라믹 바디 상에 복수의 타원형 메사들을 형성하기 위해, 마스크의 복수의 타원형 홀들을 통해 세라믹 재료를 증착하는 단계를 더 포함하며, 여기서, 복수의 타원형 메사들은 라운드형 에지들을 갖는다. 그런 다음, 코팅된 세라믹 바디로부터 마스크가 제거되고, 복수의 타원형 메사들이 연마된다.
A coated chamber component comprises a body and a protective ceramic coating deposited over a surface of the body, the protective ceramic coating being amorphous and comprising about 8-20% by weight yttrium, about 20-32% by weight aluminum, and about 60-70% by weight oxygen. |
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