광학 시스템의 형성

렌즈와 다른 광학 요소를 포함하는 광학 시스템을 형성하는 방법으로서, 방법은: 리소그래피 장치를 사용하여 마스터 툴을 형성하는 단계; 복수의 렌즈들 및 연관된 렌즈 정렬 특징부들을 포함하는 기판을 형성하기 위해 마스터 툴을 사용하는 단계; 통합 렌즈 정렬 특징부를 구비하는 렌즈를 각각 갖는 개별 기판들을 형성하기 위해 기판을 다이싱하는 단계; 지그에 다른 광학 요소를 위치시키는 단계; 및 복수의 렌즈들 중 렌즈를, 상기 렌즈에 대한 통합 정렬 특징부가 지그의 표면들에 대해 안착되도록 지그에 배치하여, 렌즈가 다른 광학 요소에 대해 원하는 포지션에 있도록 배치하는 단계를 포함한다. A method of forming an optical system is disclosed. The optical system may include a lens and another optical element. The method may include forming a master tool using a lithographic apparatus, using the master tool to form a substrate comprising a plurality of lenses and associated lens alignment features, dicing the substrate to form individual substrates each having a lens with an integrated lens alignment feature, locating the other optical element in a jig, and placing a lens of the plurality of lenses in the jig such that the integrated alignment feature for said lens rests against surfaces of the jig thereby placing the lens is in a desired position relative to the other optical element.