TRANSFER CONVEYOR SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR INSPECTING APPARATUS USING MOVING-MAGNETS

A transfer conveyor system for a semiconductor inspecting apparatus using moving magnets comprises: a carrier in which a semiconductor wafer or a substrate is seated, accommodated, and transferred; an armature which is provided to be accommodated in a permanent magnet plate under the carrier and includes a plurality of permanent magnets arranged along a longitudinal direction of the carrier; a stator which is disposed to be spaced apart from the armature, is fixedly installed on a guide rail, and includes a plurality of motor coils interacting with the magnetic field generated by the permanent magnets; a sensor unit which is installed at each of two ends of each motor coil, detects whether the armature approaches, senses a variation of the magnetic field, and measures a position of the armature from speed information of the armature; and a carrier monitoring unit which is provided on the carrier and monitors the carrier to detect an abrasion degree, a damage state, or an alignment/misalignment of the carrier in real time. The transfer conveyor system for a semiconductor inspecting apparatus using moving magnets according to the present invention includes an armature, which is a moving magnet, and a stator of a motor coil to reduce a load of a carrier, thereby achieving high precision and high-speed transfer. An existing encoder and resolver are deleted from the system so as to reduce costs and solve difficulties in attachment. A vibration degree of the carrier and information about accurate transfer locations can be identified in real time so as to make predictive diagnosis easy. Accordingly, an inspection yield can increase and product costs can decrease. 본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 캐리어; 상기 캐리어 하부의 영구자석 플레이트에 수용되게 마련되며, 상기 캐리어의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함하는 자석가동자(armature); 상기 자석가동자에 이격 배치되되 가이드레일 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일을 포함하는 고정자(stator); 각각의 모터코일의 양단에 설치되며, 자석가동자의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자의 위치를 측정하는 센서부; 및 상기 캐리어에 마련되며, 캐리어의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 실시간으로 파악되도록, 상기 캐리어을 모니터링하는 캐리어 모니터링부를 포함할 수 있다. 본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 무빙마그넷의 자석가동자와 모터코일의 고정자를 구성하여 캐리어의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능하고 기존 엔코더와 레졸버가 삭제되어 가격 절감 및 취부상 어려움이 개선되며 캐리어의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있어 검사수율의 상승 및 제품단가가 감소될 수 있다.