프로세스 챔버에 가스를 전달하기 위한 장치 및 시스템

본원에서 설명된 실시예들은 일반적으로 메인프레임 도어와 프로세스 챔버 사이에 배치된 가스 조립체에 관한 것이다. 가스 조립체는 프로세싱 볼륨에 멀티존 가스 교차 유동 분포를 제공한다. 존들 각각은 독립적으로 제어된다. 존들은 각각 단일 노즐을 포함하고, 존들은 각각 다수의 노즐들에 유체적으로 커플링된 플레넘(plenum)을 포함하거나 또는 이들의 조합을 포함한다. 노즐들 이를테면, 노즐들과 함께 포함된 플레넘들은 매니폴드의 제1 주 표면과 제2 주 표면 사이에서 매니폴드 내에 배치된다. 노즐들의 출구는 매니폴드의 제2 주 표면과 유체 연통하고 프로세스 챔버의 볼륨과 유체 연통한다. 다수의 독립적으로 제어되는 존들은 유동 민감성 화학 프로세스들을 위한 질량 유동의 제어성(controllability)을 제공한다. 가스 조립체는 진공 메인프레임 로봇에 커플링되도록 구성된 어댑터 플레이트를 포함한다. Embodiments described herein generally relate to a gas assembly disposed between a mainframe door and process chamber. The gas assembly provides multi-zone gas cross-flow distribution into a processing volume. Each of the zones are independently controlled. The zones each include a single nozzle, the zones each include a plenum fluidly coupled to multiple nozzles, or a combination thereof. The nozzles, such as plenums included with nozzles, are disposed within the manifold between the first major surface and the second major surface of the manifold. An outlet of the nozzles are in fluid communication with the second major surface of the manifold, and in fluid communication with a volume of the process chamber. The multiple, independently controlled zones provide controllability of mass flow for flow sensitive chemical processes. The gas assembly include an adapter plate configured to be coupled to a vacuum mainframe robot.