SUBSTRATE RECEIVING APPARATUS

An embodiment of the present invention provides a substrate accommodating device that enables smooth transfer of a substrate between a plurality of substrate transfer robots. In the present invention, the substrate accommodating device comprises: openings formed to allow entry of a plurality of substrate transfer robots; and a support unit formed between the openings to support the substrate from a lower portion. The openings comprise: a first opening formed to be opened toward a first opening direction; and a second opening and a third opening individually formed to be opened toward a second opening direction and a third opening direction inclined by a predetermined angle from a second vertical direction and a third vertical direction perpendicular to the first opening direction. 본 발명의 실시예는 복수개의 기판 이송 로봇 사이에서 원활한 기판의 이송을 가능하게 하는 기판 수용 장치를 제공한다. 본 발명에 기판 수용 장치는, 복수개의 기판 이송 로봇이 진입 가능하도록 형성된 개구부; 및 상기 개구부 사이에 형성되어 기판을 하부에서 지지하도록 구성된 지지부를 포함한다. 상기 개구부는, 제1 개방 방향을 향하여 개방되도록 형성된 제1 개구부; 및 상기 제1 개방 방향에 수직한 제2 수직 방향 및 제3 수직 방향에서 일정 각도만큼 기울어진 제2 개방 방향 및 제3 개방 방향을 향하여 각각 개방되도록 형성된 제2 개구부 및 제3 개구부를 포함한다.