Apparatus for deposition having multi scara

A multi-SCARA deposition apparatus, which includes a plurality of source parts and a plurality of SCARAs, is disclosed. The multi-SCARA deposition apparatus according to one aspect of the present invention comprises: a chamber which has a deposition area where deposition occurs, a first atmosphere area formed on one side of the deposition area, and a second atmosphere area formed on the other side of the deposition area; a guide part which is provided inside the chamber and is formed across the first atmosphere area, the deposition area, and the second atmosphere area; a first source part which is placed on the guide part and moves between the deposition area and the first atmosphere area along the guide part; a second source part which is placed on the guide part and moves between the deposition area and the second atmosphere area along the guide part; a first SCARA which is provided to supply power and signals to the first source part; a second SCARA which is provided to supply power and signals to the second source part; a first slider which moves the first source part along the guide part; a second slider which moves the second source part along the guide part; and a control part which controls the first source part, the first slider, the second source part, and the second slider. Therefore, the multi-SCARA deposition apparatus can reduce the process time. 복수개의 소스부 및 복수개의 스카라가 구비된 멀티 스카라 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 멀티 스카라 증착 장치는 증착이 이루어지는 증착영역, 상기 증착영역의 일측에 제1대기영역, 상기 증착영역의 타측에 제2대기영역이 형성된 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 제1대기영역, 상기 증착영역 및 상기 제2대기영역에 걸쳐 형성된 안내부; 상기 안내부 상에, 상기 안내부를 따라 상기 증착영역과 상기 제1대기영역 사이를 이동하는 제1소스부; 상기 안내부 상에, 상기 안내부를 따라 상기 증착영역과 상기 제2대기영역 사이를 이동하는 제2소스부; 상기 제1소스부에 전력 및 신호를 공급하도록 구비되는 제1스카라; 상기 제2소스부에 전력 및 신호를 공급하도록 구비되는 제2스카라; 상기 제1소스부를 상기 안내부를 따라 이동시키는 제1슬라이더; 상기 제2소스부를 상기 안내부를 따라 이동시키는 제2슬라이더; 상기 제1소스부, 상기 제1슬라이더, 상기 제2소스부 및 제2슬라이더를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.