APPARATUS FOR INSPECTING DROPLET AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

A chemical solution testing device of the present invention comprises: a line unit connected to a piping unit provided in a chemical solution-supplying unit supplying a chemical solution, having an inlet through which the chemical solution flows, and forming a piping structure; a flow path unit including a first area unit in which the chemical solution flowing into the inlet moves as the speed of fluid changes and is provided adjacent to the inlet of the line unit and a second area unit communicated in series with the first area unit to which the chemical solution discharged from the first area unit moves; a detection unit including a first detecting member detecting a first signal, an electrical signal of the first area unit, and a second detecting member detecting a second signal, an electrical signal of the second area unit; and a determination unit receiving a signal from the detection unit, determining that particles and bubbles are detected when the current of the first signal and the second signal changes compared to a reference value, and distinguishing between the particles and the bubbles according to current difference between the first signal and the second signal or time difference between the current changes. 본 발명의 약액 검사 장치는, 약액을 공급하는 약액 공급부에 마련되는 배관부에 연결되며, 상기 약액이 유입되는 입구가 형성되고, 배관 구조을 이루는 라인부; 상기 입구로 유입되는 상기 약액이 유체의 속도가 변화되면서 이동되며, 상기 라인부의 입구에 인접하게 마련되는 제1 영역부와, 상기 제1 영역부와 직렬로 연통되어 상기 제1 영역부로부터 배출되는 상기 약액이 이동되는 제2 영역부를 포함하는 유로부; 상기 제1 영역부의 전기 신호인 제1 신호를 감지하는 제1 감지부재와, 상기 제2 영역부의 전기 신호인 제2 신호를 감지하는 제2 감지부재를 포함하는 감지부; 및 상기 감지부로부터 신호를 받아, 기준값에 대비하여 상기 제1 신호 및 상기 제2 신호의 전류가 변화되면 파티클과 기포가 감지되는 것으로 판별하며, 상기 제1 신호와 상기 제2 신호의 전류 차이 또는 전류가 변화되는 시간 차이에 따라 파티클과 기포를 구별하여 판별하는 판별부를 포함한다.