작업 평면에서 정의된 레이저 조명을 생성하는 장치

본 발명은 작업 평면(14)에서 정의된 레이저 조명(12)을 생성하는 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는 원시 레이저 빔(22)을 생성하도록 설정된 레이저 광원(20)을 포함한다. 광학 조립체(24)가 원시 레이저 빔(22)을 수신하여 이를 광축(40)을 따라 조명 빔(26)으로 변환한다. 조명 빔(26)은 작업 평면(14)과 교차하는 빔 방향(28)을 정의한다. 조명 빔(26)은 작업 평면(14)의 영역에서 빔 프로파일(42, 42')을 갖고, 상기 빔 프로파일은, 빔 방향(28)에 수직으로, 장축 빔 폭을 갖는 장축(44) 및 단축 빔 폭을 갖는 단축(46)을 갖는다. 광학 조립체(24)는 출구 구멍을 갖는 빔 트랜스포머(30), 장축에서의 빔 성형을 위한 제1 광학 요소 그룹(56, 60, 62, 64), 및 단축에서의 빔 성형을 위한 제2 광학 요소 그룹(34, 36, 38)을 포함한다. 빔 트랜스포머(30)는 장축에서 원시 레이저 빔(22)을 확장하여, 확장된 원시 레이저 빔을 생성한다. 제1 광학 요소 그룹(56, 60, 62, 64)은 장축에서 확장된 원시 레이저 빔을 균질화하는 균질화기(56)를 포함한다. 제2 광학 요소 그룹(34, 36, 38)은 빔 트랜스포머(30)의 출구 구멍을 작업 평면에 이미징하는 적어도 하나의 렌즈(38)를 포함한다. 제1 광학 요소 그룹(56, 60, 62, 64)은 균질화기(56)의 하류에서 중간 이미지(66)를 생성하고, 중간 이미지(66)를 작업 평면(14)에 이미징하는 이미징 광학장치를 추가로 구현한다. A device includes a laser light source configured to generate a raw laser beam, and an optical arrangement configured to shape the raw laser beam into an illumination beam. The optical arrangement includes a beam transformer with an exit aperture, a first group of optical elements and a second group of optical elements for beam shaping. The beam transformer is configured to expand the raw laser beam in the direction of a long axis. The first group of optical elements comprises a homogenizer configured to homogenize the expanded raw laser beam. The second group of optical elements comprises at least one lens configured to image the exit aperture of the beam transformer. The first group of optical elements generates an intermediate image. The device further includes an imaging optical unit configured to image the intermediate image into the work plane.