마이크로파-유도 플라즈마에 의한 분말 구상화 처리 장치 및 방법

마이크로파-유도 플라즈마에 의한 분말 구상화 처리 장치는, 마이크로파 발생기(4), 마이크로파 캐비티(20), 상기 마이크로파 발생기를 상기 마이크로파 캐비티에 연결하는 도파관(6), 상기 마이크로파 캐비티에 부분적으로 위치된 플라즈마 튜브(3), 분말 전구체 흐름을 공급하기 위해 상기 플라즈마 튜브에 연결되는 분말 공급부(2), 공정 가스 흐름을 마이크로파 방사선과 결합함으로써 상기 플라즈마 튜브에 플라즈마 토치를 형성하기 위해 상기 플라즈마 튜브에 연결되어 상기 공정 가스 흐름을 주입하는 가스 공급부(1), 및 압축 공기 공급부(9)를 포함한다. 상기 마이크로파 캐비티는 상기 압축 공기(91)를 위한 적어도 하나의 오프닝(25)을 포함해서 상기 압축 공기가 외부로부터 상기 플라즈마 튜브를 냉각할 수 있게 하고, 상기 가스 공급부는 상기 분말 공급부에 연결되어서 상기 공정 가스(11)가 상기 분말 전구체(21)를 상기 플라즈마 튜브로 운반하고 플라즈마 토치로 운반하여 비산-중 용융에 의해 상기 분말 전구체로부터 회전 타원체(31)를 만들게 한다. An apparatus for powder spheroidisation by microwave-induced plasma comprises a microwave generator (4), a microwave cavity (20), a waveguide (6) connecting the microwave generator to the microwave cavity, a plasma tube (3) partially located in the microwave cavity, a powder supply (2) connected to the plasma tube to feed a powder precursor flow thereinto, a gas supply (1) connected to the plasma tube to feed a process gas flow thereinto, in order to form a plasma torch in the plasma tube by coupling the process gas flow with the microwave radiation, and a compressed air supply (9). The microwave cavity comprises at least one opening (25) for the compressed air (91) so that the latter can cool the plasma tube from outside, and the gas supply is connected to the powder supply to let the process gas (11) carry the powder precursor (21) into the plasma tube, and so into the plasma torch in order to make spheroids (31) from the powder precursor by in-flight melting.