분할된 병렬 디스펜싱을 위한 장치 및 방법

본 발명은, 특히 반도체 기판 상에 하나 이상의 도체 트랙을 형성하기 위해, 기판 위에 프린팅 매체(10)를 병렬 디스펜싱하는 장치(1)에 관한 것으로, 프린팅 매체(10)를 동시에 배출하기 위한 다수의 디스펜서 노즐을 가진 프린팅 유닛(6) 및 이동 방향(7)으로 프린팅 유닛(6)과 기판(4) 사이의 상대 이동을 발생시키도록 설계된 구동 수단(5)을 구비하고, 적어도 하나의 제 1 디스펜서 노즐과 제 2 디스펜서 노즐은 이동 방향(7)을 가로질러 서로 이격되어 배치된다. 제 1 디스펜서 노즐과 제 3 디스펜서 노즐은 공통의 제 1 종축을 따라 제 1 노즐 간격을 두고 서로 이격되어 배치되고, 상기 제 1 종축은 이동 방향(7)에 대해 평행하게 연장된다. A device (1) for parallel dispensing a print medium (10) onto a substrate, in particular for producing one or more conductor tracks on a semiconductor substrate, having a printing unit (6), which includes a plurality of dispenser nozzles for simultaneous discharge of the print medium (10), and having a drive (5), which is configured to generate a relative movement between the printing unit (6) and the substrate (4) in a movement direction (7). At least first usnd second dispenser nozzles are arranged spaced apart from one another transversely in relation to the movement direction (7). The first dispenser nozzle and a third dispenser nozzle are arranged spaced apart from one another along a common first longitudinal axis at a first nozzle spacing, and the first longitudinal axis runs parallel to the movement direction (7).