Fabrication of Bendable Thin Film Battery based on Sputtering Engineering

The present invention relates to a process for providing a thin film battery capable of charging and discharging in a thickness of several micrometers by stacking a positive electrode current collector, a positive electrode material, a solid electrolyte, and a negative electrode thin film on a substrate using a sputter. The provided thin film battery can be driven at a voltage up to 4 V (vs. Li/Li^+) when charging, and stable battery operation is possible by using a solid electrolyte. The thin film battery system can be applied to a system to which a battery system of general thickness is not applicable, for example, an electronic credit card, a wearable device and the like. 본 발명은 스퍼터(sputter)를 이용하여 기판 위에 양극 집전체, 양극재, 고체전해질, 음극재 박막을 층층이 쌓아 수 마이크로 미터 두께의 충방전이 가능한 박막전지를 제공하는 공정에 관한 것이다. 제공하는 박막전지는 충전 시 4 V(vs. Li/Li+) 수준까지 전압 구동이 가능하며 고체전해질을 사용함으로써 안정적인 전지 구동이 가능하다. 본 박막 전지 시스템은 일반적인 두께의 전지 시스템이 적용되지 않는 시스템, 예를 들어, 전자 신용카드, 웨어러블 디바이스 등에 적용될 수 있다.