하우징을 통해 연장되는 유체-충전식 배기 튜브들을 갖는 결정 인상 시스템들

유체-냉각식 배기 튜브를 갖는 결정 인상 시스템들이 개시된다. 유체-냉각식 배기 튜브는 반응기 하우징을 통해 반응 챔버 내로 연장된다. 일부 실시예들에서, 배기 튜브는 결정 인상기 하우징의 최하부를 통해 그리고 잉곳 인상기 하우징 내의 최하부 열 차폐부를 통해 연장된다. Crystal pulling systems having a fluid-cooled exhaust tube are disclosed. The fluid-cooled exhaust tube extends through the reactor housing and into...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DIODA MAURO, SREEDHARAMURTHY HARIPRASAD, HARINGER STEPHAN, ZARDONI MARCO
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE APPARATUS THEREFOR CHEMISTRY CRYSTAL GROWTH METALLURGY PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE SINGLE-CRYSTAL-GROWTH UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	유체-냉각식 배기 튜브를 갖는 결정 인상 시스템들이 개시된다. 유체-냉각식 배기 튜브는 반응기 하우징을 통해 반응 챔버 내로 연장된다. 일부 실시예들에서, 배기 튜브는 결정 인상기 하우징의 최하부를 통해 그리고 잉곳 인상기 하우징 내의 최하부 열 차폐부를 통해 연장된다. Crystal pulling systems having a fluid-cooled exhaust tube are disclosed. The fluid-cooled exhaust tube extends through the reactor housing and into the reaction chamber. In some embodiments, the exhaust tube extends through the bottom of the crystal puller housing and through a bottom heat shield within the ingot puller housing.