초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 방법

본 발명은 초순수를 사용한 후, 과산화수소를 함유하는 사용이 끝난 초순수를 초순수 제조의 피처리수로서 재이용하는 초순수 제조에 있어서, 간이한 구성으로 장치 및 피처리수의 청정화에 기여할 수 있는 초순수의 제조 시스템 및 제조 방법을 제공하는 것으로, 전처리부(2), 1차 순수 제조부(3) 및 2차 순수 제조부(4)를 갖고, 초순수를 제조하기 위한 초순수 제조 시스템으로서, 전처리부(2)의 전단 또는 전처리부(2)와 1차 순수 제조부(3) 사이에 설치되고, 원수 또는 피처리수를 저류할 수 있는 저류부(5)와, 초순수의 사용 후에 얻어지는, 과산화수소를 함유하는 사용이 끝난 초순수를, 상기 사용이 끝난 초순수 중에 혼입된 불순물을 제거하면서, 과산화수소의 일부 또는 전부를 투과시켜 회수수로 하는 회수 처리부(6)와, 상기 회수 처리부(6)로부터 얻어지는 회수수를 저류부(5)에 반송하여 순환시키는 순환 수단(7)을 구비하는 초순수 제조시스템(1)에 관한 것이다. An ultrapure water production system to produce an ultrapure water, includes a pre-treatment unit 2; a primary pure water production unit 3; a secondary pure water production unit 4; a storage unit 5 provided to precede the pre-treatment unit 2 or between the pre-treatment unit 2 and the primary pure water production unit 3, the storage unit 5 being capable of storing raw water or treatable water; a recovery treatment unit 6 to remove impurities mixed in a used ultrapure water obtained after use of the ultrapure water and containing hydrogen peroxide with passing a part or the whole of the hydrogen peroxide therethrough, to make a recovered water; and a circulator 7 to circulate the recovered water obtained from the recovery treatment unit 6 to feed the recovered water back to the storage unit 5.