PROBE MODULE AND MICRO PROBE SYSTEM COMPRISING THE SAME

Provided is a probe module capable of accurately measuring a characteristic of a sample. The probe module according to one embodiment of the present invention may comprise: a base; a guidance rail which is installed on the base; a guidance member which slides along the guidance rail; a rotation member which is connected to the guidance member to be rotatable for the guidance member around a first shaft side by side with a height direction; a probe assembly which is connected to the rotation member to be rotatable for the rotation member in a first horizontal rotation direction coming closer to a sample and a second horizontal direction growing apart from the sample around a second shaft vertical to the first shaft; and an elastic member which provides a torque in the first horizontal rotation direction for the probe assembly. 프로브 모듈을 제공한다. 일 실시 예에 따른 프로브 모듈은, 베이스; 상기 베이스에 설치되는 가이드 레일; 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩 하는 가이드부재; 높이 방향에 나란한 제1 축을 중심으로 상기 가이드부재에 대하여 회전 가능하도록 상기 가이드부재에 연결되는 회전부재; 상기 제1 축에 수직한 제2 축을 중심으로 시편과 가까워지는 제1 수평 회전 방향 및 멀어지는 제2 수평 회전 방향으로 상기 회전부재에 대하여 회전 가능하도록 상기 회전부재에 연결되고, 프로브를 포함하는 프로브 조립체; 및 상기 프로브 조립체에 대하여 제1 수평 회전 방향으로 토크를 제공하는 탄성부재를 포함할 수 있다.