Scribe Head and Scribe Apparatus

Provided is a technology related to a scribe head unit capable of reliably preventing dust from being penetrated into a sliding unit of a linear guide by air purge when the linear guide without a seal member is employed. A scribe head (1) of the present invention comprises: a holder maintaining unit...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SAKAGUCHI RYOTA, TAKEHARA HARUKA, OKAJIMA YASUTOMO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a technology related to a scribe head unit capable of reliably preventing dust from being penetrated into a sliding unit of a linear guide by air purge when the linear guide without a seal member is employed. A scribe head (1) of the present invention comprises: a holder maintaining unit (2) which maintains a scribing tool (1) forming a scribe line on a brittle material substrate (F); a linear guide (30) which supports the holder maintaining unit (2) to be vertically moved; and a stay member (6) on which the holder maintaining unit (2) is mounted via the linear guide (30), wherein a purge mechanism which purges dust to prevent the dust from entering the linear guide (30) is provided so as to surround a periphery of the linear guide (30). [과제] 씰 부재를 갖지 않은 리니어 가이드를 채용했을 때에, 에어 퍼지에 의해 확실하게 리니어 가이드의 접동부 내로 분진이 침입하는 것을 방지할 수 있는 스크라이브 헤드 유닛에 관한 기술을 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 스크라이브 헤드(1)는 취성 재료 기판(F)에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 툴(1)을 유지하는 홀더 유지부(2)와, 홀더 유지부(2)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 리니어 가이드(30)와, 리니어 가이드(30)를 매개로 하여 홀더 유지부(2)가 장착되는 스테이 부재(6)를 가지는 스크라이브 헤드(1)에 있어서, 리니어 가이드(30)의 둘레를 에워싸도록, 해당 리니어 가이드(30)에 분진이 들어가는 것을 막기 위해 분진을 퍼지하는 퍼지 기구가 구비되어 있다.