웨이퍼의 어셈블리 및 취급 방법

각각이 반도체 부품을 포함하는 웨이퍼를 고정할 수 있는 적어도 하나의 제1 및 제2 웨이퍼 홀더; 상기 웨이퍼 홀더를 이동시키기 위해 상기 웨이퍼 홀더 중 하나를 운반하도록 선택적으로 작동 가능한 캐리어; 웨이퍼 홀더 상의 웨이퍼로부터 반도체 부품을 픽킹하기 위한 수단을 포함하는 픽킹 스테이션; 반도체 부품이 있는 웨이퍼를 웨이퍼 홀더 상에 적재하기 위한 수단을 포함하는 로딩 스테이션; 웨이퍼 홀더가 파킹될 수 있는 영역을 포함하는 중간 레스트 스테이션; 웨이퍼 홀더를 중간 레스트 스테이션에서 로딩 스테이션으로 이동시키도록 선택적으...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DROMARD PASCAL, SCARPELLA MASSIMO, OBERLI MARCO, COSTE DAMIEN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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