High sensitivity thin film sensor and method for manufacturing high sensitivity thin film sensor

The present invention provides a high-sensitivity thin film sensor and a high-sensitivity thin film sensor manufacturing method for manufacturing the same. The high-sensitivity thin film sensor comprises: a polymer substrate; and a conductive thin film provided on one side of the polymer substrate and having a crack formed on the surface. After piling a nano-thick metal material on one side of the conductive thin film, the polymer substrate is first tensioned to create a crack on one side of the conductive thin film. The polymer substrate is secondly tensioned to increase the width of the crack, followed by heat treatment while maintaining tension and cooling to maintain the increased width of the crack. The crack is guided in a straight line. Therefore, by applying pre-strain to increase the width of the crack created in the metal thin film and then maintaining the increased width of the crack through heat treatment, straightness can be improved in a tension area, including an initial micro-tension area. By preventing a crack from completely closing in a compression area, straightness in the compression area can also be improved. High-sensitivity detection is possible in the tension and compression areas. 본 발명은 고분자 기판; 및 상기 고분자 기판의 일면 상에 구비되며 표면에는 크랙이 생성된 전도성 박막을 포함하며, 상기 전도성 박막의 일면에 금속 물질을 나노 두께로 쌓은 뒤 상기 고분자 기판을 1차 인장시켜 상기 전도성 박막의 일면에 크랙을 생성하고, 상기 고분자 기판을 2차 인장시켜 상기 크랙의 너비를 증가시킨 후 인장을 유지한 상태에서 열처리한 후 냉각하여 상기 크랙의 증가된 너비를 유지하며, 상기 크랙은 직선으로 유도된 것을 특징으로 하는 고감도 박막 센서 및 이를 제조하기 위한 고감도 박막 센서 제조 방법을 제공한다. 따라서, 사전변형을 가하여 금속 박막에 생성된 크랙의 너비를 증대시킨후 열처리를 통해 증대된 크랙의 너비를 유지시킴으로써 초기 미세 인장영역을 비롯한 인장영역에서 직진성을 개선할 수 있고, 압축영역에서도 크랙이 완전히 닫히는 것을 방지하여 압축영역에서의 직진성을 역시 개선할 수 있으며, 인장 및 압축영역에서 고감도 감지가 가능하다.