Image sensor and method for fabricating the same
The present invention relates to an image sensor and a method for manufacturing the same. The method for manufacturing the image sensor, comprises the steps of: providing a substrate including a plurality of pixel regions; forming an anti-reflection film on the substrate; forming color filters on th...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to an image sensor and a method for manufacturing the same. The method for manufacturing the image sensor, comprises the steps of: providing a substrate including a plurality of pixel regions; forming an anti-reflection film on the substrate; forming color filters on the anti-reflection film, wherein the color filters are spaced apart from each other by openings; forming pyrolytic polymer patterns between the color filters, wherein the openings are filled with the pyrolytic polymer patterns; forming a capping film on the color filters and the pyrolytic polymer patterns; and performing a heat treatment process to remove the pyrolytic polymer patterns, and forming air gap regions between the color filters. Therefore, the image sensor with improved optical characteristics can be provided.
본 발명은 이미지 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 이미지 센서의 제조 방법은 상세하게 복수의 픽셀 영역들을 포함하는 기판을 제공하는 것, 상기 기판 상에 반사 방지막을 형성하는 것, 상기 반사 방지막 상에 컬러 필터들을 형성하는 것, 상기 컬러 필터들은 개구부들에 의해 서로 이격되고, 상기 컬러 필터들 사이에 열분해 고분자 패턴들을 형성하는 것, 상기 열분해 고분자 패턴들은 상기 개구부들을 채우고, 상기 컬러 필터들 및 상기 열분해 고분자 패턴들 상에 캡핑막을 형성하는 것, 및 열처리 공정을 수행하여, 상기 열분해 고분자 패턴들을 제거하고 상기 컬러 필터들 사이에 에어 갭 영역들을 형성하는 것을 포함할 수 있다. |
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