Hybrid Isolation System
The present invention relates to a system for performing measurement and work on an object on an optical table with high precision. A hybrid isolation system according to the present invention includes an extra damper capable of compensating for deformation of the optical table due to the object, an...
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| Hauptverfasser: | , , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | The present invention relates to a system for performing measurement and work on an object on an optical table with high precision. A hybrid isolation system according to the present invention includes an extra damper capable of compensating for deformation of the optical table due to the object, and selective and complex arrangement of the extra damper with a passive isolator and an active isolator can respond to various conditions.
본 발명은 광학정반 상 대상물의 측정 및 작업을 높은 정밀도로 수행하기 위한 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따른 하이브리드 아이솔레이션 시스템은 대상물에 의한 광학정반의 변형에 대한 보상이 가능한 엑스트라 댐퍼를 포함하고, 패시브 아이솔레이터 및 액티브 아이솔레이터와 함께 선택적, 복합적인 배치로 다양한 조건에 대응할 수 있는 것을 특징으로 한다. |
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