반송 방법 및 처리 시스템

기판에 소망하는 처리를 실시하는 적어도 1개의 처리부와, 상기 처리부에 대해서 기판을 반송하는 반송부를 구비하는 처리 시스템에 있어서, 연속적으로 처리되는 복수의 기판을 상기 반송부로부터 상기 처리부에 반송하는 방법으로서, 복수의 상기 기판의 각각에는, 해당 기판에 대한 처리 시간을 임의로 변경하기 위한 조정치가 미리 할당되고, 금회 처리되는 제1기판에 할당된 상기 조정치를 취득하는 공정과, 상기 제1기판보다 전에 처리된 기준 기판에 할당된 기준 조정치를 취득하는 공정과, 상기 기준 기판에 대해서 행해진 실제의 처리 시간인 실적 시간을 취득하는 공정과, 상기 실적 시간에 상기 제1기판에 할당된 상기 조정치와 상기 기준 조정치의 차분을 반영시키는 것에 의해, 제1기판의 예측 처리 시간을 산출하는 공정과, 산출된 상기 예측 처리 시간에 근거하여, 상기 제1기판보다 후에 처리되는 제2기판의 반송 타이밍을 조정하는 공정을 포함한다. This method is for conveying, in a processing system comprising at least one processing unit that performs a desired process on substrates and a conveyance unit that conveys the substrates to the processing unit, a plurality of substrates, which are to be continuously processed, from the conveyance unit to the processing unit. To each of the substrates, an adjustment value for optionally changing processing time is assigned in advance. The method comprises: a step for acquiring an adjustment value allocated to a first substrate to be processed this time; a step for acquiring a reference adjustment value allocated to a reference substrate processed before the first substrate; a step for acquiring an actual time which is an actual time of processing performed on the reference substrate; a step for calculating a predictive processing time for the first substrate by reflecting, on the actual time, a difference between the adjustment value allocated to the first substrate and the reference adjustment time; and a step for adjusting, on the basis of the calculated predictive processing time, a conveyance timing of a second substrate to be processed after the first substrate.