공작물 분리 방법

본 발명은 레이저 빔(2)의 레이저 펄스(20)에 의해 분리 라인(10)을 따라 공작물(1)을 분리하는 공작물 분리 방법에 관한 것이다. 레이저 빔(2)은 빔 스플리터 광학 장치(62)에 의해 복수의 부분 레이저 빔(26)으로 분할되고, 부분 레이저 빔(26)은 포커싱 광학 장치(64)에 의해 공작물(1)의 표면(12) 상으로 및/또는 체적으로 포커싱되어, 부분 레이저 빔(26)은 분리 라인(10)을 따라 서로 옆에 서로 이격되어 배열되며, 여기서 분리 라인(10)을 따라 공작물에 부분 레이저 빔(26)의 레이저 펄스(20)를 도입함으로써 재료 제거가 수행되고, 부분 레이저 빔(26)당 레이저 출력은 공작물(1)에서 달성되는 재료 제거 깊이(AT)에 따라 조정된다. A method for separating a workpiece along a separation line by using laser pulses of a laser beam includes splitting the laser beam into a plurality of partial laser beams using a beam splitter optical unit, focusing the plurality of partial laser beams onto a surface of the workpiece and/or into a volume of the workpiece using a focusing optical unit, so that the plurality of partial laser beams are arranged next to one another and spaced apart from one another along the separation line, and ablating material of the workpiece along the separation line by introducing the laser pulses of the plurality of partial laser beams into the workpiece. The laser power per partial laser beam is adjusted depending on an ablation depth obtained in the workpiece.