REAL-TIME AUTOFOCUS SENSOR INSPECTION DEVICE AND METHOD USING THE SAME

A real-time autofocus sensor comprises: an autofocus head capable of measuring the height by emitting a first laser light and a second laser light from a focus point of a line scan camera to two height measurement points spaced on both sides in a scanning direction; and an autofocus control part tha...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WONSOO JI, BYUNGDO KIM, KYUNGHEE PARK, NAMSUK PAIK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A real-time autofocus sensor comprises: an autofocus head capable of measuring the height by emitting a first laser light and a second laser light from a focus point of a line scan camera to two height measurement points spaced on both sides in a scanning direction; and an autofocus control part that controls the autofocus head to generate height data by using a laser light reflected by a laser light emitted to the height measurement point preceding the scanning direction in which scanning is in progress among the two height measurement points based on information about the scanning direction. A distance between the focus point of the line camera and the two height measurement points is minimized correspondingly to an autofocus delay time and a scan speed. 실시간 자동 초점 센서는 라인스캔 카메라의 초점 지점으로부터 스캔 방향으로 양측으로 이격된 2개의 높이 측정 지점으로 제1 레이저 광 및 제2 레이저 광을 방사하여 높이를 측정할 수 있는 자동 초점 헤드, 및 스캔 방향에 대한 정보를 기반으로 상기 2개의 높이 측정 지점 중에서 스캔이 진행 중인 스캔 방향으로 선행하는 위치의 높이 측정 지점으로 방사된 레이저 광에 의해 반사된 레이저 광을 이용하여 높이 데이터를 생성하도록 상기 자동 초점 헤드를 제어하는 자동 초점 제어부를 포함하고, 상기 라인 카메라의 초점 지점과 상기 2개의 높이 측정 지점 간의 간격은 자동 초점 지연 시간과 스캔 속도에 대응하여 최소화된다.