가스 퍼지 유닛 및 로드 포트 장치

[과제] 메인터넌스성이 양호한 노즐의 상하 이동 기구를 갖는 가스 퍼지 유닛 등을 제공한다. [해결 수단] 내부에 가스의 유로가 형성되어 있으며, 용기의 저부에 구비되는 제1 퍼지 포트에 연통하고, 가스를 상기 용기에 도입 또는 가스를 상기 용기로부터 배출하는 제1 퍼지 노즐과, 한쪽의 단부에 상기 제1 퍼지 노즐을 유지하는 제1 유지부를 갖는 제1 연결부와, 상기 제1 연결부가 접속되어 있으며, 상기 제1 연결부 및 상기 제1 퍼지 노즐을 상하 이동시키는 제1 액추에이터를 갖는, 가스 퍼지 유닛. A gas purge unit i...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KOTSUGAI TATSUHIRO, EMOTO JUN, KUDO TAKUYA
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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