가스 퍼지 유닛 및 로드 포트 장치

[과제] 메인터넌스성이 양호한 노즐의 상하 이동 기구를 갖는 가스 퍼지 유닛 등을 제공한다. [해결 수단] 내부에 가스의 유로가 형성되어 있으며, 용기의 저부에 구비되는 제1 퍼지 포트에 연통하고, 가스를 상기 용기에 도입 또는 가스를 상기 용기로부터 배출하는 제1 퍼지 노즐과, 한쪽의 단부에 상기 제1 퍼지 노즐을 유지하는 제1 유지부를 갖는 제1 연결부와, 상기 제1 연결부가 접속되어 있으며, 상기 제1 연결부 및 상기 제1 퍼지 노즐을 상하 이동시키는 제1 액추에이터를 갖는, 가스 퍼지 유닛. A gas purge unit including: a first purge nozzle in which a gas flow path is internally formed, which communicates with a first purge port at the bottom of a container, and which introduces gas into the container or discharges gas from the container; a first communication unit which has a first holding unit for holding the first purge nozzle at one end; and a first actuator to which the first communication unit is connected and which moves the first communication unit and the first purge nozzle vertically.