VALVE STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

The technical idea of the present invention provides a valve structure comprising: a seal plate including a front surface and a rear surface; a connection block connected to the rear surface of the seal plate in a first direction, and including a central portion and two side portions connected to the rear surface of the seal plate; and a shaft connected to the central portion of the connection block. The two side portions of the connection block each have: a first hinge groove exposed through the bottom and side surfaces of the connection block, and extending in a second direction and a third direction within the connecting block, wherein the second direction is perpendicular to the first direction, and the third direction is perpendicular to the first direction and the second direction; and a second hinge groove exposed through the top and side surfaces of the connection block and extending in the second direction and the third direction within the connection block. Therefore, the reliability of the valve structure and the reliability of a substrate processing apparatus including the valve structure can be improved. 본 발명의 기술적 사상은 전면 및 후면을 포함하는 밀폐 플레이트; 상기 밀폐 플레이트의 상기 후면에 제1 방향으로 연결되고, 중심부 및 상기 밀폐 플레이트의 상기 후면에 연결된 두 측부를 포함하는, 연결 블록; 및 상기 연결 블록의 상기 중심부에 연결된 샤프트;를 포함하고, 상기 연결 블록의 상기 두 측부는 각각, 상기 연결 블록의 바닥면 및 측면을 통해 노출되고, 상기 연결 블록 내에서 제2 방향 및 제3 방향으로 연장되고, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향에 수직되고 상기 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직된, 제1 힌지 홈; 및 상기 연결 블록의 상면 및 상기 측면을 통해 노출되고, 상기 연결 블록 내에서 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향으로 연장된 제2 힌지 홈;을 포함하는, 밸브 구조체를 제공한다.