PRINTED CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD HAVING CONTROLLED POROSITY

연마 패드를 제작하는 방법은, 연마 패드의 연마 층의 폴리머 매트릭스 내에 도입될 공극들의 원하는 분포를 결정하는 단계를 포함한다. 폴리머 매트릭스 전구체가 증착될 위치들을 특정하고, 재료가 증착되지 않을, 공극들의 원하는 분포의 위치들을 특정하는, 3D 프린터에 의해 판독되도록 구성된 전자 제어 신호들이 생성된다. 복수의 제 1 위치들에 대응하는, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들이, 3D 프린터로, 성공적으로 증착된다. 폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출함으로써 증착된다. 폴리머...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MURUGESH LAXMAN, ATH KADTHALA RAMAYA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OFTHREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVEAGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING,STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING BASIC ELECTRIC ELEMENTS DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS GRINDING MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING PERFORMING OPERATIONS POLISHING SEMICONDUCTOR DEVICES SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR SHAPING OR JOINING OF PLASTICS TOOLS FOR GRINDING, BUFFING, OR SHARPENING TRANSPORTING WORKING OF PLASTICS WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	연마 패드를 제작하는 방법은, 연마 패드의 연마 층의 폴리머 매트릭스 내에 도입될 공극들의 원하는 분포를 결정하는 단계를 포함한다. 폴리머 매트릭스 전구체가 증착될 위치들을 특정하고, 재료가 증착되지 않을, 공극들의 원하는 분포의 위치들을 특정하는, 3D 프린터에 의해 판독되도록 구성된 전자 제어 신호들이 생성된다. 복수의 제 1 위치들에 대응하는, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들이, 3D 프린터로, 성공적으로 증착된다. 폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출함으로써 증착된다. 폴리머 매트릭스 전구체는, 공극들의 원하는 분포를 갖는 응고된 폴리머 매트릭스를 형성하도록 응고된다. A method of fabricating a polishing pad includes determining a desired distribution of voids to be introduced within a polymer matrix of a polishing layer of the polishing pad. Electronic control signals configured to be read by a 3D printer are generated which specify the locations where a polymer matrix precursor is to be deposited, and specify the locations of the desired distribution of voids where no material is to be deposited. A plurality of layers of the polymer matrix corresponding to the plurality of the first locations is successfully deposited with the 3D printer. Each layer of the plurality of layers of polymer matrix is deposited by ejecting a polymer matrix precursor from a nozzle. The polymer matrix precursor is solidified to form a solidified polymer matrix having the desired distribution of voids.