Image sensors

An image sensor is disclosed. The image sensor includes: a semiconductor substrate including a first surface and a second surface and including a photoelectric conversion region therein; a buried gate structure disposed within a buried gate trench extended from the first surface of the semiconductor...

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1. Verfasser: NOH HYUN PIL
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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creator NOH HYUN PIL
description An image sensor is disclosed. The image sensor includes: a semiconductor substrate including a first surface and a second surface and including a photoelectric conversion region therein; a buried gate structure disposed within a buried gate trench extended from the first surface of the semiconductor substrate to the inside of the semiconductor substrate; a floating diffusion region disposed on one side of the buried gate structure in the semiconductor substrate; a contact disposed on the first surface of the semiconductor substrate and disposed in the upper part of the floating diffusion region; and a contact barrier region disposed between the contact and the floating diffusion region in the semiconductor substrate. Therefore, it is possible to prevent a leakage current from a pixel circuit. 이미지 센서가 개시된다. 이미지 센서는 제1 면과 제2 면을 포함하고, 내부에 광전 변환 영역을 포함하는 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면으로부터 상기 반도체 기판 내부로 연장되는 매립 게이트 트렌치 내부에 배치되는 매립 게이트 구조물; 상기 반도체 기판의 내부에서 상기 매립 게이트 구조물의 일 측 상에 배치되는 플로팅 확산 영역; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면 상에 배치되고, 상기 플로팅 확산 영역 상부에 배치되는 콘택; 및 상기 반도체 기판의 내부에서 상기 콘택과 상기 플로팅 확산 영역 사이에 배치되는 콘택 배리어 영역을 포함한다.
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The image sensor includes: a semiconductor substrate including a first surface and a second surface and including a photoelectric conversion region therein; a buried gate structure disposed within a buried gate trench extended from the first surface of the semiconductor substrate to the inside of the semiconductor substrate; a floating diffusion region disposed on one side of the buried gate structure in the semiconductor substrate; a contact disposed on the first surface of the semiconductor substrate and disposed in the upper part of the floating diffusion region; and a contact barrier region disposed between the contact and the floating diffusion region in the semiconductor substrate. Therefore, it is possible to prevent a leakage current from a pixel circuit. 이미지 센서가 개시된다. 이미지 센서는 제1 면과 제2 면을 포함하고, 내부에 광전 변환 영역을 포함하는 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면으로부터 상기 반도체 기판 내부로 연장되는 매립 게이트 트렌치 내부에 배치되는 매립 게이트 구조물; 상기 반도체 기판의 내부에서 상기 매립 게이트 구조물의 일 측 상에 배치되는 플로팅 확산 영역; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면 상에 배치되고, 상기 플로팅 확산 영역 상부에 배치되는 콘택; 및 상기 반도체 기판의 내부에서 상기 콘택과 상기 플로팅 확산 영역 사이에 배치되는 콘택 배리어 영역을 포함한다.</description><language>eng ; kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230427&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20230056454A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,309,781,886,25568,76551</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230427&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20230056454A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>NOH HYUN PIL</creatorcontrib><title>Image sensors</title><description>An image sensor is disclosed. 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