POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME

POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME

본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE JONG IN, NOH HYOUNG RAE, KANG HYUN WOO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC HEATING
ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator LEE JONG IN
NOH HYOUNG RAE
KANG HYUN WOO
description 본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_KR20230050942A</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>KR20230050942A</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_KR20230050942A3</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZLAJ8A93DVIIDg0I8IlUCPXzDFFw9HMB8p2CQ4IcQ1zBMv5BIQrOHqHO3gqefs4-oS6efu4KwY6-rjwMrGmJOcWpvFCam0HZzTXE2UM3tSA_PrW4IDE5NS-1JN47yMjAyNjAwNTA0sTI0Zg4VQDTyCqt</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME</title><source>esp@cenet</source><creator>LEE JONG IN ; NOH HYOUNG RAE ; KANG HYUN WOO</creator><creatorcontrib>LEE JONG IN ; NOH HYOUNG RAE ; KANG HYUN WOO</creatorcontrib><description>본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다.</description><language>eng ; kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC HEATING ; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230417&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20230050942A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230417&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20230050942A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>LEE JONG IN</creatorcontrib><creatorcontrib>NOH HYOUNG RAE</creatorcontrib><creatorcontrib>KANG HYUN WOO</creatorcontrib><title>POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME</title><description>본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC HEATING</subject><subject>ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2023</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZLAJ8A93DVIIDg0I8IlUCPXzDFFw9HMB8p2CQ4IcQ1zBMv5BIQrOHqHO3gqefs4-oS6efu4KwY6-rjwMrGmJOcWpvFCam0HZzTXE2UM3tSA_PrW4IDE5NS-1JN47yMjAyNjAwNTA0sTI0Zg4VQDTyCqt</recordid><startdate>20230417</startdate><enddate>20230417</enddate><creator>LEE JONG IN</creator><creator>NOH HYOUNG RAE</creator><creator>KANG HYUN WOO</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20230417</creationdate><title>POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME</title><author>LEE JONG IN ; NOH HYOUNG RAE ; KANG HYUN WOO</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20230050942A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; kor</language><creationdate>2023</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC HEATING</topic><topic>ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>LEE JONG IN</creatorcontrib><creatorcontrib>NOH HYOUNG RAE</creatorcontrib><creatorcontrib>KANG HYUN WOO</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>LEE JONG IN</au><au>NOH HYOUNG RAE</au><au>KANG HYUN WOO</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME</title><date>2023-04-17</date><risdate>2023</risdate><abstract>본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language eng ; kor
recordid cdi_epo_espacenet_KR20230050942A
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC HEATING
ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
title POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-18T18%3A34%3A16IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=LEE%20JONG%20IN&rft.date=2023-04-17&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EKR20230050942A%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true