POWER SUPPLY UNIT AND SUBSTRATE SUPPORT CHUCK INCLUDING SAME

본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE JONG IN, NOH HYOUNG RAE, KANG HYUN WOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC HEATING ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기판의 온도를 조절하는 온도 조절 플레이트의 하면에 제공되는 온도 조절 패턴에 전력을 공급하는 전력 공급 유닛을 제공한다. 전력 공급 유닛은, 상기 온도 조절 패턴을 발열시키는 전력을 공급하는 전력 공급 단자; 및 상기 전력 공급 단자를 상기 온도 조절 패턴에 밀착시키는 밀착 부재를 포함하고, 상기 전력 공급 단자는, 상기 온도 조절 패턴과 마주하는 헤드 부를 포함하고, 상기 헤드 부에는, 상기 온도 조절 패턴과 상기 헤드 부 사이에 제공되는 전도성 페이스트가 도포되는 홈이 형성될 수 있다.