INKJET DEVICE AND MANUFACTURING METHOD BY USING THE SAME

According to an embodiment, an inkjet device comprises: a substrate support supporting a substrate and moving the substrate; a plurality of inkjet heads arranged to face the substrate; an inkjet head assembly where the plurality of inkjet heads are mounted; an inkjet head system driving unit control...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SUZUKI TOSHINARU, MIN CHEONG WAN, TAKASHIMA TSUNEO, BYUN JUNGWOONG, YAMAUCH I ATSUSHI
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:According to an embodiment, an inkjet device comprises: a substrate support supporting a substrate and moving the substrate; a plurality of inkjet heads arranged to face the substrate; an inkjet head assembly where the plurality of inkjet heads are mounted; an inkjet head system driving unit controlling movement of the inkjet head assembly; a gantry stage where an ink supply unit supplying ink to the plurality of inkjet heads; a gantry system driving unit moving the gantry stage; and a correction unit correcting operation of the inkjet head system driving unit by receiving a movement amount of the gantry stage. 실시예에 따른 잉크젯 장치는 기판을 지지하고 상기 기판을 이동할 수 있는 기판 지지대, 상기 기판과 마주하도록 배치되는 복수의 잉크젯 헤드, 상기 복수의 잉크젯 헤드를 탑재하는 잉크젯 헤드 어셈블리, 상기 잉크젯 헤드 어셈블리의 이동을 제어하는 잉크젯 헤드 시스템 구동부, 상기 복수의 잉크젯 헤드에 잉크를 공급하는 잉크 공급부가 설치된 갠트리 스테이지, 상기 갠트리 스테이지를 이동시키는 갠트리 시스템 구동부, 그리고 상기 갠트리 스테이지의 이동량을 수신하여, 상기 잉크젯 헤드 시스템 구동부의 동작을 보정하는 보정부를 포함할 수 있다.