온도 제어 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치

미리 보지하는 예측 모델에 따라 산출된 예측 온도열을 장래의 목표 온도열에 근접시키도록 현재의 히터 공급 전력을 제어하는 기술에서, 현재 온도와 최종 목표 온도와 온도 수속용 램프 레이트에 따라 상기 장래의 목표 온도열을 갱신하는 기술이 제공된다. According to one aspect of the technique of the present disclosure, there is provided a temperature control method including: (a) controlling a current heater su...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SUGISHITA MASASHI, YAMAGUCHI HIDETO, SHIGEMATSU SEIYA, UENO MASAAKI, MAEDA SHUHEI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
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