온도 제어 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치

미리 보지하는 예측 모델에 따라 산출된 예측 온도열을 장래의 목표 온도열에 근접시키도록 현재의 히터 공급 전력을 제어하는 기술에서, 현재 온도와 최종 목표 온도와 온도 수속용 램프 레이트에 따라 상기 장래의 목표 온도열을 갱신하는 기술이 제공된다. According to one aspect of the technique of the present disclosure, there is provided a temperature control method including: (a) controlling a current heater supply power such that a predicted temperature column calculated according to a prediction model stored in advance approaches a future target temperature column, wherein the future target temperature column is updated in accordance with a current temperature, a final target temperature and one of a temperature convergence ramp rate and a designated temperature convergence time.