VACUUM CHUK SYSTEM

A vacuum chuck according to the present invention, which can improve work efficiency and work stability, comprises: a seating plate which is provided with a seating unit accommodating an object to be processed; a plurality of vacuum adsorption units which are disposed along a rim of the seating unit; and a fixing member which is disposed of in the seating plate and fixes the object to be processed to the seating plate. The seating plate includes a seating unit inner part formed to be recessed on the upper surface of the seating plate and a seating unit outer part formed on the rim of the seating unit inner part and forming the upper surface of the seating plate. The seating unit inner part includes an opening formed on the upper surface thereof and an adsorption flow path formed inside the seating unit inner part and communicating with the opening. 본 발명에 따른 진공척은, 피가공물을 수용하는 안착부를 구비하는, 안착 플레이트, 상기 안착부의 둘레를 따라 배치되는 복수의 진공 흡착부, 및 상기 안착 플레이트에 위치하며, 상기 피가공물을 상기 안착부에 고정시키는 고정부재를 포함한다. 상기 안착부는 상기 안착 플레이트의 상면(upper surface)에서 함몰되어 형성되는 안착부 이너 파트, 및 상기 안착부 이너 파트의 둘레에 형성되며 상기 안착 플레이트의 상면을 형성하는 안착부 아우터 파트를 포함한다. 상기 안착부 이너 파트는, 상면에 형성되는 개구, 및 상기 안착부 이너 파트의 내부에 형성되며, 상기 개구에 연통되는 흡착 유로를 포함한다.