재료를 검사하는 방법들 및 장치

재료를 검사하는 방법들은 재료를 이동시키는 단계 및 결함의 결함 위치를 식별하는 단계를 포함한다. 방법들은 카메라의 시야(FOV)가 제2 이동 경로를 따라 재료에 대해 이동하여 상기 결함 위치와 일치하도록 제2 이동 방향으로 제2 이동 경로를 따라 카메라를 이동시키는 단계를 포함한다. 방법들은 재료가 이동할 때 시야(FOV)를 통해 결함을 통과시키는 단계 및 재료가 이동하고 결함이 FOV를 통해 이동할 때 카메라로 결함의 이미지를 캡처하는 단계를 포함한다. 이미지들은 제1 주 표면의 제1 이미지, 제2 주 표면의 제2 이미지, 및 제1 주 표면과 제2 주 표면 사이의 재료의 중간 부분의 제3 이미지를 포함한다. 방법들은 결함을 특성화하기 위해 복수의 이미지를 검토하는 단계를 포함한다. Methods of inspecting a material include moving the material and identifying a defect location of a defect. Methods include moving a camera along a second travel path in a second travel direction such that a field of view (FOV) of the camera moves relative to the material along the second travel path to match the defect location. Methods include passing the defect through the field of view (FOV) as the material moves and capturing images of the defect with the camera as the material moves and the defect moves through the FOV. The images include a first image of a first major surface, a second image of a second major surface, and a third image of an intermediate portion of the material between the first major surface and the second major surface. Methods include reviewing the plurality of images to characterize the defect.