Mask set and fabricating method of Mask
The present invention relates to a mask set including at least one mask used for manufacturing an organic light emitting display device and a method for manufacturing the mask. According to the present invention, the mask includes dummy holes on a bezel part in a pattern part of the mask sheet to re...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to a mask set including at least one mask used for manufacturing an organic light emitting display device and a method for manufacturing the mask. According to the present invention, the mask includes dummy holes on a bezel part in a pattern part of the mask sheet to reduce a deviation in stiffness between a cell part having a plurality of openings and the bezel part, thereby minimizing a pixel position accuracy (PPA) to improve deposition PPA performance. Accordingly, it is possible to uniformly form a high-resolution or ultra-high-resolution organic light emitting layer pattern without deposition defects. In addition, since the mask sheet of the mask according to the embodiment of the present invention is formed as an invar thin plate by an electroforming method, a process of forming the mask sheet can be simplified, facility costs for manufacturing the same can be reduced, and a large area mask sheet having a small thickness can be formed.
본 발명은 유기발광표시장치 제작시 사용되는 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트 및 마스크의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 특징은 마스크를 마스크시트의 패턴부 내의 베젤부 상에 더미홀들을 구비되도록 함으로써, 다수의 개구부가 구비된 셀부와 베젤부의 강성 편차를 줄일 수 있어, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA 성능이 향상되는 효과를 갖는다. 이를 통해, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 마스크시트를 전주 도금(electroforming) 방식으로 인바 박판으로 형성함으로써, 마스크시트를 형성하는 공정을 단순화 할 수 있고, 이를 제조하는 설비 비용을 줄일 수 있으며, 얇은 두께의 대면적 마스크시트를 형성할 수 있는 효과가 있다. |
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