다환 폴리페놀 수지, 조성물, 다환 폴리페놀 수지의 제조방법, 막형성용 조성물, 레지스트 조성물, 레지스트패턴 형성방법, 감방사선성 조성물, 리소그래피용 하층막형성용 조성물, 리소그래피용 하층막의 제조방법, 회로패턴 형성방법, 및 광학부재형성용 조성물
식(1A) 및 식(1B)로 표시되는 방향족 하이드록시 화합물로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 모노머유래의 반복단위를 갖는 다환 폴리페놀 수지, 또는, 하기 식(C-1A)로 표시되는 방향족 하이드록시 화합물에서 유래하는 반복단위를 포함하는 다환 폴리페놀 수지로서, 상기 반복단위끼리가, 방향환끼리의 직접결합에 의해 연결되어 있는, 다환 폴리페놀 수지. JPEGpct00129.jpg60107 (식(1A) 중, R1은 탄소수 1~60의 2n가의 기 또는 단결합이며, R2는 각각 독립적으로, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 식(1A) 및 식(1B)로 표시되는 방향족 하이드록시 화합물로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 모노머유래의 반복단위를 갖는 다환 폴리페놀 수지, 또는, 하기 식(C-1A)로 표시되는 방향족 하이드록시 화합물에서 유래하는 반복단위를 포함하는 다환 폴리페놀 수지로서, 상기 반복단위끼리가, 방향환끼리의 직접결합에 의해 연결되어 있는, 다환 폴리페놀 수지. JPEGpct00129.jpg60107 (식(1A) 중, R1은 탄소수 1~60의 2n가의 기 또는 단결합이며, R2는 각각 독립적으로, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 1~40의 알킬기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 6~40의 아릴기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 2~40의 알케닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 2~40의 알키닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 1~40의 알콕시기, 할로겐원자, 티올기, 아미노기, 니트로기, 시아노기, 복소환기, 카르복실기 또는 수산기이며, m은 각각 독립적으로 0~3의 정수이다. n은 1~4의 정수이다. 또한, 식(1B) 중, R2 및 m은 상기 식(1A)에 있어서 설명한 것과 동의이다.) JPEGpct00130.jpg5653 (식(C-1A) 중, R1은 탄소수 1~60의 2n가의 기 또는 단결합이며, R2는 각각 독립적으로, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 1~40의 알킬기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 6~40의 아릴기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 2~40의 알케닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 2~40의 알키닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 탄소수 1~40의 알콕시기, 할로겐원자, 티올기, 아미노기, 니트로기, 시아노기, 복소환기, 카르복실기 또는 수산기이며, m은 각각 독립적으로 0~9의 정수이다. n은 1~4의 정수이며, p는 각각 독립적으로 0~3의 정수이다.)
A polycyclic polyphenolic resin having repeating units derived from at least one monomer selected from the group consisting of aromatic hydroxy compounds represented by the formulas (1A) and (1B); or a polycyclic polyphenolic resin having repeating units derived from an aromatic hydroxy compound represented by the formula (C-1A), wherein the repeating units are linked to each other by a direct bonding between aromatic rings:wherein in the formula (1A), R1 is a 2n-valent group having 1 to 60 carbon atoms or a single bond, each R2 is independently an alkyl group having 1 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an aryl group having 6 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an alkenyl group having 2 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an alkynyl group having 2 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an alkoxy group having 1 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, a halogen atom, a thiol group, an amino group, a nitro group, a cyano group, a nitro group, a heterocyclic group, a carboxyl group or a hydroxy group, and each m is independently an integer of 0 to 3; each n is independently an integer of 1 to 4; and in the formula (1B), R2 and m are as defined in the formula (1A), andwherein in the formula (C-1A), R1 is a 2n-valent group having 1 to 60 carbon atoms or a single bond, each R2 is independently an alkyl group having 1 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an aryl group having 6 to 40 carbon atoms and optionally having a substituent, an a |
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