컴포넌트와 연관된 공간 맵을 계산하기 위한 방법 및 장치

컴포넌트와 연관된 공간 맵을 계산하기 위한 방법으로서, 상기 공간 맵은 상기 컴포넌트 내의 열팽창 파라미터의 공간적 변동을 표시하고, 상기 방법은, 상기 컴포넌트 내의 온도 분포를 시간의 함수로서 제공하거나 결정하는 단계; 및 상기 컴포넌트 내의 제공되거나 결정된 온도 분포 및 상기 컴포넌트와 직접적이거나 간접적으로 상호작용한 방사선 빔의 광학 측정치를 사용하여, 상기 컴포넌트와 연관된 공간 맵을 계산하는 단계를 포함하고, 상기 광학 측정치는 상기 컴포넌트 내의 제공되거나 결정된 온도 분포와 시간 동기화된, 공간 맵 계산 방법. A method for calculating a spatial map associated with a component, the spatial map indicating spatial variations of thermal expansion parameters in the component, the method comprising: providing or determining a temperature distribution in the component as a function of time; calculating the spatial map associated with the component using the provided or determined temperature distribution in the component and optical measurements of a radiation beam that has interacted directly or indirectly with the component, the optical measurements being time synchronized with the provided or determined temperature distribution in the component.