얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체

OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체를 제공한다. 개구를 형성하는 프레임체와, 프레임체의 일방면측에, 개구를 덮도록 전장 지지된 방진막을 구비한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체로서, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부와, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 중 적어도 일방을 구비한다. Provided is a dustproof structure for an alignment unit, which is suitable as a dust...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KUROKAWA KENICHI, HIRANO MASAKATSU
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체를 제공한다. 개구를 형성하는 프레임체와, 프레임체의 일방면측에, 개구를 덮도록 전장 지지된 방진막을 구비한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체로서, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부와, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 중 적어도 일방을 구비한다. Provided is a dustproof structure for an alignment unit, which is suitable as a dustproof cover for an OAS type alignment unit.　This dustproof structure for an alignment unit comprises a frame that forms an opening and a dustproof film that is stretched and supported on one side of the frame so as to cover the opening, and also comprises a securing portion for mechanically securing the dustproof structure to the alignment unit and/or a magnet for securing the dustproof structure to the alignment unit.