자동화된 샤워헤드 틸팅 조정

일부 예들에서, 자동화된 틸팅 시스템이 기판 프로세싱 챔버 내의 컴포넌트의 배향을 조정하기 위해 제공된다. 자동화된 틸팅 시스템은 컴포넌트와 협력하고 커플링에 의해 컴포넌트의 일부에 연결되도록 구성된 (arrange) 적어도 하나의 틸팅 조정 모터를 포함한다. 커플링은 적어도 하나의 틸팅 조정 모터에 의한 자동화된 회전 모션이 적어도 하나의 틸팅 조정 모터 또는 기준 구조체 (datum structure) 에 대해 컴포넌트의 연결된 부분으로 대응하는 축 방향 운동을 부여하여 프로세싱 챔버 내의 컴포넌트의 배향을 조정하도록 구성된다. In some examples, an automated tilting system is provided for adjusting an orientation of a component in a substrate processing chamber. The automated tilting system comprises at least one tilt adjustment motor arranged to cooperate with the component and be connected to a portion of the component by a coupling. The coupling is configured such that automated rotational motion by the at least one tilt adjustment motor imparts corresponding axial movement, relative to the at least one tilt adjustment motor or a datum structure, to the connected portion of the component to adjust the orientation of the component in the processing chamber.