유기 분말을 증발시키기 위한 디바이스 및 방법

본 발명은 비-가스 시작 재료를 기화시키기 위한 방법에 관한 것이며, 이 방법에서, 시작 재료는 증발기(1)의 증발 챔버(3)로 도입되며, 증발기(1)의 증발 요소(4)가 시작 재료에 열을 공급해서, 이 시작 재료는 증기를 형성하도록 증발되며; 증기는 가스 공급 라인(9)을 통해 증발 챔버(3) 내로 피드되는 이송 가스 스트림에 의해 수송되며, 그리고 이송 채널(7)을 통해 그리고 센서(8)를 지나는 증기의 질량 유동은 제1 질량 유동 제어기(10)에 의해 제어되며, 이 센서는 이송 도관(7)을 통해 유동하는 가스 스트림에서 증기의 농도 또는 부분압을 측정하며; 그리고 이송 도관(7)을 통한 증기의 질량 유동은 설정점 값에 대해 이송 가스 유동을 변경시킴으로써 제어된다. 디바이스에 의해 운반되는 증기 유동을 시간에 걸쳐 대체로 일정하게 유지하기 위해, 보상 가스 유동은 증발기와 센서(8) 사이에 배열되는 혼합 지점(18)에서 이송 채널(7) 내로 피드되며, 보상 가스 유동의 질량 유동은 제2 질량 유동 제어기(22)에 의해 제어되어, 이송 가스 유동이 변할 때, 센서(8)를 지나 유동하는 가스 유동은 일정하게 유지된다. In a method for evaporating a non-gaseous starting material, the starting material is introduced into an evaporation chamber; an evaporation element heats the starting material to create a vapor; a conveying gas flow transports the vapor through a conveying channel and past a sensor, which measures the concentration or partial pressure of the vapor in the gas flow flowing through the conveying channel; and the mass flow of the vapor through the conveying channel is controlled by varying the conveying gas flow with respect to a setpoint value. To keep the vapor flow largely constant over time, a compensating gas flow is fed into the conveying channel at a mixing point disposed between the evaporator and the sensor. A second mass flow controller controls the mass flow of the compensating gas flow such that, when the conveying gas flow varies, the gas flow flowing past the sensor remains constant.