SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

The present invention relates to a substrate processing apparatus, which may achieve high throughput and save space. To this end, the apparatus may comprise: a carrying in/out block; a processing station which allows a substrate to return at the interval from the carrying in/out block, and is disposed at one side in a left-and-right direction with respect to the carrying in/out block; a repeating block which is disposed at one side in a left-and-right direction with respect to the processing station, and allows a substrate to return at the gap from the processing station; a plurality of processing blocks which individually have a processing module performing processing with respect to the substrate, and a main return device delivering the substrate with respect to the processing module, and are aligned in a left-and-right direction to constitute a processing station; and a bypass return device which is disposed at each processing block aligned in a left-and-right direction such that the substrate may be returned between left and right blocks apart from the main return device. The bypass return routes, which are the return route of the substrate by means of the bypass return device, have different heights from each other, and have one part thereof being overlapped with each other in plane view. 본 발명은, 기판 처리 장치에 관해서 스루풋을 높게 함과 함께 공간 절약한다. 반출입 블록과, 반출입 블록과의 사이에서 기판이 반송되고, 반출입 블록에 대하여 좌우의 일방측에 마련되는 처리 스테이션과, 처리 스테이션에 대하여 좌우의 일방측에 마련되고, 처리 스테이션과의 사이에서 기판이 반송되는 중계 블록과, 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 모듈과, 당해 처리 모듈에 대하여 상기 기판을 전달하는 주반송 기구를 각각 구비하고, 좌우로 배열되어 복수 마련되어서 처리 스테이션을 구성하는 처리 블록과, 주반송 기구와는 별도로, 좌우의 블록간에서 기판을 반송하기 위해서 좌우로 배열되는 처리 블록마다 마련되는 바이패스 반송 기구를 구비하도록 장치를 구성한다. 바이패스 반송 기구에 의한 기판의 반송로인 바이패스 반송로에 대해서, 서로의 높이가 다르고, 또한 평면으로 보아 그 일부가 서로 겹친다.