SPIN CHUNK HAVING SCREW AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME

A spin chuck comprises: a lower plate; an upper plate on the lower plate; a chuck pin protruding above an upper surface from the upper plate, wherein the chuck pin includes a connection portion disposed inside the upper plate, a support portion disposed on the upper plate, and a protrusion portion b...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JUN YONG MYUNG, KIM SEO HYUN, KIM HYUN CHUL, KWON OH CHEL, CHOI DAE WOONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLEANING CLEANING IN GENERAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A spin chuck comprises: a lower plate; an upper plate on the lower plate; a chuck pin protruding above an upper surface from the upper plate, wherein the chuck pin includes a connection portion disposed inside the upper plate, a support portion disposed on the upper plate, and a protrusion portion between the connection portion and the support portion; a screw disposed inside the upper plate and fixing the connection portion to the upper plate. The screw comprises: a screw body penetrating the connection portion; a screw head disposed at an end of the screw body and in contact with a side surface of the chuck pin; and a screw cap covering the screw head. It is possible to prevent and reduce salt generation inside a pinhole. 스핀 척은 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트 상의 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트로부터 상면보다 위로 돌출되는 척 핀, 상기 척 핀은 상기 상부 플레이트의 내부에 배치되는 연결부, 상기 상부 플레이트 상에 배치되는 지지부 및 상기 연결부와 지지부 사이의 돌기부를 포함하고; 및 상기 상부 플레이트의 내부에 배치되며, 상기 연결부를 상기 상부 플레이트에 고정하는 스크류를 포함한다. 상기 스크류는 상기 연결부를 관통하는 스크류 바디, 상기 스크류 바디의 단부에 배치되며 상기 척 핀의 측면에 접하는 스크류 헤드 및 상기 스크류 헤드를 덮는 스크류 캡을 포함한다.