SUPERCRITICAL FLUID SUPPLY APPARATUS AND SUPERCRITICAL PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME

A supercritical fluid supply apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a fluid supply device supplying gaseous carbon dioxide to a first pipe; a condenser including a refrigerant pipe through which refrigerant is supplied to maintain the carbon dioxide supplied through the first pipe at a predetermined temperature and a second pipe surrounded by the refrigerant pipe, and temporarily storing and transferring the carbon dioxide to a third pipe connected to the second pipe; and a storage tank increasing the temperature and pressure of the carbon dioxide transferred through the third pipe to store the carbon dioxide, convert the carbon dioxide into a supercritical state, and supply the same to a drying chamber in which drying treatment is performed on a substrate, wherein the refrigerant pipe may extend to surround the third pipe connecting the condenser and the storage tank. Therefore, the supercritical fluid supply apparatus according to one embodiment of the present invention is used to improve supply efficiency of the fluid supply device, and further improve supply speed of supercritical fluid. 본 발명의 실시예에 따른 초임계 유체 공급 장치는, 기체 상태의 이산화탄소를 제1 배관으로 공급하는 유체 공급 장치, 상기 제1 배관을 통해 공급된 상기 이산화탄소를 소정의 온도로 유지하기 위한 냉매가 공급되는 냉매 배관, 및 상기 냉매 배관에 의해 둘러싸인 제2 배관을 포함하고, 상기 이산화탄소를 임시 저장하여 상기 제2 배관과 연결된 제3 배관으로 전달하는 콘덴서, 및 상기 제3 배관을 통해 전달된 상기 이산화탄소의 온도 및 압력을 증가시킴으로써 상기 이산화탄소를 저장하고, 상기 이산화탄소를 초임계 상태로 변환하여 기판에 대한 건조 처리가 수행되는 건조 챔버에 공급하는 저장 탱크를 포함하고, 상기 냉매 배관은 상기 콘덴서 및 상기 저장 탱크 사이를 연결하는 상기 제3 배관을 둘러싸는 형태로 연장될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 유체 공급 장치를 이용하여 유체 공급 장치의 공급 효율을 개선할 수 있고, 나아가 초임계 유체의 공급 속도를 개선할 수 있다.