CARRIER SUPPORTING DEVICE ALIGNMENT APPARATUS FILM FORMING APPARATUS MASK MOUNTING METHOD FILM FORMING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE

According to a carrier supporting apparatus for mounting a substrate carrier, which holds and supports a substrate, on a mask, it is possible to improve control accuracy of a relative position between the substrate carrier and the mask. A carrier supporting unit for supporting a substrate carrier, which holds and supports a substrate, comprises: a plurality of first supporting portions installed side by side in a first direction along a film formation surface of the substrate, and supporting a peripheral part of a first side of the substrate carrier in the first direction; and a plurality of second supporting portions installed side by side in the first direction, and supporting a peripheral part of a second side of the substrate carrier in the first direction, wherein the carrier supporting unit supports the substrate carrier in a separated state when a height of a supporting surface of a part of the plurality of first supporting portions is different from a height of a supporting surface of another part of the plurality of first supporting portions, and a height of a supporting surface of a part of the plurality of second supporting portions is different from a height of a supporting surface of another part of the plurality of second supporting portions. [과제] 기판을 보유지지한 기판 캐리어를 마스크에 재치하는 캐리어 지지 장치에 있어서, 기판 캐리어와 마스크의 상대 위치의 제어 정밀도를 향상시킨다. [해결 수단] 기판을 보유지지하는 기판 캐리어를 지지하는 캐리어 지지 수단은, 기판의 성막면을 따르는 제1 방향으로 나란히 설치되고, 기판 캐리어의 제1 방향을 따른 제1 변의 주연부를 지지하는 복수의 제1 지지부와, 제1 방향으로 나란히 설치되고, 기판 캐리어의 제1 방향을 따른 제2 변의 주연부를 지지하는 복수의 제2 지지부를 가지고, 복수의 제1 지지부 중 일부의 지지면의 높이가, 복수의 제1 지지부 중 다른 일부의 지지면의 높이와 서로 다르고, 또한, 복수의 제2 지지부 중 일부의 지지면의 높이가, 복수의 제2 지지부 중 다른 일부의 지지면의 높이와 서로 다른 상태에서, 캐리어 지지 수단이 이격 상태의 기판 캐리어를 지지한다.