폴리머 증착을 위한 시스템 및 방법

기판 상에 불소화 폴리머 코팅을 증착시키는데 유리한 하나 이상의 특징을 갖는 시스템, 및 이러한 코팅을 증착시키기 위해 이러한 시스템을 사용하는 방법이 일반적으로 제공된다. Systems having one or more features that are advantageous for depositing fluorinated polymeric coatings on substrates, and methods of employing such systems to deposit such coatings, are generally provid...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GRANT ANDREW, STAZINSKI MICHAEL E, LEWIS HILTON PRYCE, O'SHAUGHNESSY W. SHANNAN, BYRNE KELLI J
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:기판 상에 불소화 폴리머 코팅을 증착시키는데 유리한 하나 이상의 특징을 갖는 시스템, 및 이러한 코팅을 증착시키기 위해 이러한 시스템을 사용하는 방법이 일반적으로 제공된다. Systems having one or more features that are advantageous for depositing fluorinated polymeric coatings on substrates, and methods of employing such systems to deposit such coatings, are generally provided.