웨이퍼 정렬을 위한 시스템, 방법 및 타겟

웨이퍼 정렬 시스템은 이미징 서브시스템, 컨트롤러 및 스테이지를 포함한다. 컨트롤러는 기준점 타겟에 대한 이미지 데이터를 수신하고 기준점 타겟의 각각에 대하여 중심 위치를 결정한다. 중심 위치 결정은, 각자의 기준점 타겟 내에서 서브패턴을 식별하고, 각자의 기준점 타겟에 대하여 다수의 중심 위치 후보를 식별하는 것을 포함한다. 각자의 기준점 타겟에 대하여 다수의 중심 위치 후보를 식별하는 단계는, 각자의 기준점 타겟의 각각의 식별된 서브패턴에 모델을 적용하는 것을 포함하며, 모델은 각자의 기준점 타겟에 대한 중심 위치 후보를 식별하...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	SIMKIN ARKADI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING COMPUTING COUNTING ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL PHYSICS PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION SEMICONDUCTOR DEVICES
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