구상 결정질 실리카 입자, 및 그 제조 방법

(과제) 밀리미터파 대역에 있어서 우수한 유전 특성을 갖는 반도체 밀봉재용의 필러 용도로서 적합한 구상 실리카 입자, 즉 알칼리 금속 및 알칼리 토류 금속의 함유량을 낮게 억제하면서, 높은 결정화율로, 또한 석영의 비율이 높은, 구상 결정질 실리카 입자, 및 그 제조 방법을 제공하는 것. (해결 수단) 원형도가 0.80 이상이며, 리튬을 산화물 환산으로 0.02질량% 이상 0.40질량% 미만 함유하고, 칼슘을 산화물 환산으로 0.004질량% 이상 1.0질량% 미만 함유하고, 결정질 실리카의 상을 포함하여 이루어지는, 구상 결정질 실...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TANAKA MUTSUHITO, KUSUNOKI KAZUHIKO, USHIO SHOJI, NUMAO RYUTARO, AOYAMA YASUHIRO
Format: Patent
Sprache:kor
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